Caractérisation du lisier de CMP, suspension à haute concentration (Apn-16SD009)
Comptage de particule en suspension à haute concentration

Le procédé CMP (planarisation chimico-mécanique) utilise une boue colloïdale pour polir les surfaces des plaquettes de semi-conducteurs. La présence d’impuretés ou de particules surdimensionnées doit être constamment quantifiée pendant la production de la boue.

L’Ipac 2CMP offre une méthode complète pour améliorer le comptage des particules pour les suspensions de boues. La plateforme IPAC 2 est basée sur des dispositifs d’imagerie haut de gamme et sur la toute dernière génération de cellules à micropuces.

Où nous mettons nos efforts :

• Augmenter la détection des particules les plus fines en utilisant un banc optique dédié avec une résolution de 172nm/pixel.
• Réduire la dilution de l’échantillon, en utilisant une épaisseur de cellule de 50µ, nous pouvons réduire, voire éliminer la dilution de l’échantillon (généralement 1:1 ; 1:10 ; 1:100). La plus faible dilution de l’échantillon améliore la fiabilité des mesures et la stabilité de l’échantillon.
• Dispositif d’éclairage et d’imagerie à haute stabilité, nous avons éliminé la dérivation du dispositif d’acquisition (par rapport aux dispositifs standards d’obscurcissement de la lumière)
• Fonction d’arrière-plan dynamique, ce logiciel intelligent compare chaque image à la précédente et permet de ne reconnaître que les particules en mouvement. Cela signifie que les saletés présentes sur la cellule seront filtrées et ne seront pas comptées comme des particules, ce qui nous donne les résultats de comptage les plus précis.
• Méthode de mesure directe.
• Informations et méthode concernant l’appareil et l’échantillon

Instrument: IPAC2
Calibration: 172 nm/pixel
Taille du capteur de l’appareil photo: 12 Megapixels
Épaisseur des cellules: 50µm Dilution de l’échantillon: 1:1 (non dilué)
Type d’échantillon : Boue de silice colloïdale
Type de pompe : Seringue de précision
Identification des particules

Pendant la mesure, la caméra acquiert et traite les images en temps réel, jusqu’à 18 images traitées par seconde. Toutes les particules, visibles sur l’image, sont identifiées et stockées dans les classes de taille correspondantes.

La distribution des comptages est rafraîchie en continu jusqu’à la fin de l’analyse. Le tableau ci-contre montre quatre particules dans différentes classes de taille.